前瞻技术 ：
固态激光雷达
1.基本原理
分为 ：外部光源 、OPA 光子相位阵列列 、分路器 、光波导 、移相器 、光发射天线阵列
其测距原理均不使用FOT时间飞行法 ，采用相干法
2.关键技术
光路调相机制 ：PIN调相 ，切换速度快；热光子器件调相 ，切换速度慢 ，成熟
硅基光子器件 ：硅基光敏器件（接收 ，成熟） ，硅基激光发射器件（发射 ，不成熟）
光天线 ：普遍采用波导光栅
光路制备工艺 ：普遍采用SOI工艺
3.光路调相
光路调相有两种技术 ：热光子环和PIN二级管 ，本质上都是增加光路时延 。
PIN 调相(CALTECH)
热光子开关（MIT）
4.器件
光器件是基于SiGe工艺 ，接收管可以和SOI工艺兼容 。激光管不行 。器件看这篇 ：
专栏作家斛律哥 ：摩尔定律的黄昏 ，自动驾驶的黎明 ：站在时代肩膀上的光电半导体zhuanlan.zhihu.com硅锗工艺制备的光敏二极管（UCSB） ，用于接收进行波导到光栅的转换利用衍射效应 ，通过光栅将光子发射出去
硅基芯片上普遍使用的是Focusing gating coupler（聚焦光栅耦合器） ，发射天线
5.工艺
典型的光栅制作工艺 ：
1.紫外光刻
2.感应耦合等离子体蚀刻
3.光栅体蚀刻深度70nm深
4. 使用Si3N4制作光波导
5.使用SiGe工艺制作光敏二极管 ，用于接收
